เครื่องมือสแกนพื้นผิวแบบ 3D ส่วนหัว VR-5200

รุ่น

VR-5200

ชนิด

ส่วนหัว

แหล่งกำเนิดแสง

แหล่งกำเนิดแสงสำหรับการตรวจสอบ

ไฟ LED แบบวงแหวน (สีแดง สีน้ำเงิน สีเขียว)

แหล่งกำเนิดแสงสำหรับการวัด

LED สีขาว

คอนโทรลเลอร์

VR-5000

มุมมองภาพ

กำลังขยายต่ำ(มุมมองภาพกว้าง)

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 12×

แนวนอน

24.0 มม.

แนวตั้ง

18.0 มม.

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 25×

แนวนอน

12.0 มม.

แนวตั้ง

9.0 มม.

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 38×

แนวนอน

8.0 มม.

แนวตั้ง

6.0 มม.

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 50×

แนวนอน

แนวตั้ง

4.5 มม.

กำลังขยายสูง(ความละเอียดสูง)

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 40×

แนวนอน

7.6 มม.

แนวตั้ง

5.7 มม.

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 80×

แนวนอน

3.8 มม.

แนวตั้ง

2.9 มม.

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 120×

แนวนอน

2.5 มม.

แนวตั้ง

1.9 มม.

กำลังขยายในจอแสดงผลขนาด 15" 160×

แนวนอน

แนวตั้ง

1.4 มม.

ขยาย

1× ถึง 4×

การวัดความสูง

ความละเอียดในการแสดงผล

0.1 µm

ช่วงการวัดความสูง

ไม่มีการต่อภาพ Z

กำลังขยายต่ำ(มุมมองภาพกว้าง) ： 10 มม.
กำลังขยายสูง(ความละเอียดสูง) ： 1 มม.

มีการต่อภาพ Z

กำลังขยายต่ำ(มุมมองภาพกว้าง) ： 50 มม.
กำลังขยายสูง(ความละเอียดสูง) ： 30 มม.

อัตราการทำซ้ำ (σ)

ไม่มีการต่อภาพ Z

0.4 µm^*1

มีการต่อภาพ Z

1.0 µm^*1

ความแม่นยำในการวัด

ไม่มีการต่อภาพ Z

±2.5 µm^*1

มีการต่อภาพ Z

±4.0 µm^*1

การวัดความกว้าง

อัตราการทำซ้ำ (σ)

กำลังขยายต่ำ(มุมมองภาพกว้าง) ： 1 µm
กำลังขยายสูง(ความละเอียดสูง) ： 0.5 µm
^*1

ความแม่นยำในการวัด

กำลังขยายต่ำ(มุมมองภาพกว้าง) ： ±5 µm
กำลังขยายสูง(ความละเอียดสูง) ： ±2 µm
^*1

ฟังก์ชันการต่อภาพ

การวัดอัตโนมัติเต็มรูปแบบ(ควบคุมแกน XY แบบอัตโนมัติ + ควบคุมแกน Z แบบอัตโนมัติ)、สร้างการตรวจจับตำแหน่งโดยอัตโนมัติ, ตั้งค่าพื้นที่โดยอัตโนมัติ^*2

ช่วงที่วัดได้ของแกน XY

206 × 104 มม.^*2

แท่นวาง

ช่วงชักในแกน XY

184 × 88 มม. (ใช้มอเตอร์)

ช่วงชักในแกน Z

73 มม. (ใช้มอเตอร์)

โหลดที่รับได้

4.5 กก.

ระยะการทำงาน

75 มม.

ส่วนรับภาพ

CMOS ชนิดขาวดำ 4 เมกะพิกเซล

เลนส์ตัวส่ง

เลนส์ Telecentric แบบคู่ × 2

เลนส์ตัวรับ

เลนส์ Telecentric แบบคู่

การประมวลผลข้อมูล

PC ทำขึ้นโดยเฉพาะซึ่งกำหนดโดย KEYENCE (OS: Windows 10 Pro)

แหล่งจ่ายไฟ

แรงดันไฟ

100 ถึง 240 VAC, 50/60 Hz

การสิ้นเปลืองกำลังไฟ

สูงสุด 200 VA

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+15 ถึง 30°C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

20 ถึง 80% RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

น้ำหนัก

ประมาณ 28 กก.^*3