ส่วนหัว รุ่นโพรบแบบสัมผัส LM-X100T

LM-X100T - ส่วนหัว รุ่นโพรบแบบสัมผัส

*อุปกรณ์เสริมในภาพใช้เพื่อแสดงลักษณะการใช้งาน ซึ่งอาจไม่ได้รวมอยู่ในชุดผลิตภัณฑ์

ข้อมูลจำเพาะ

รุ่น				LM-X100T
ชนิด				ส่วนหัว
อิมเมจเซนเซอร์				CMOS ชนิดขาวดำ 20 เมกะพิกเซลขนาด 1 นิ้ว
เลนส์ตัวรับ				เลนส์เทเลเซนตริกแบบคู่
การวัดด้วยภาพ	มุมมองภาพ	โหมดการวัดแบบมุมกว้าง		325 มม. × 175 มม.
		โหมดการวัดความแม่นยำสูง		306 มม. × 156 มม.
	หน่วยต่ำสุดในการแสดงผล			0.1 μm
	อัตราการทำซ้ำ	อยู่ในมุมมองภาพของ กล้อง (2σ)	โหมดการวัดแบบมุมกว้าง	±0.5 μm
			โหมดการวัดความแม่นยำสูง	±0.1 µm
		มีการเคลื่อนที่ของ แท่นวาง	แกน X/Y	±0.9 µm
			ระนาบ X/Y
	ความแม่นยำในการวัด	อยู่ในมุมมองภาพของ กล้อง (2σ)	โหมดการวัดแบบมุมกว้าง	±2 µm ^*1
			โหมดการวัดความแม่นยำสูง	±0.7 µm ^*2
		มีการเคลื่อนที่ของ แท่นวาง	แกน X/Y (EUX,MPE , EUY,MPE)	±(1.8 + 0.02 L) µm ^*3
			ระนาบ X/Y (EUXY,MPE)	±(2.8 + 0.02 L) µm ^*3
การวัดความสูง	อัตราการทำซ้ำ			±2 µm
	ความแม่นยำในการตรวจวัด (EUZ,MPE)			±(4.8 + 0.04 L) µm ^*4
การวัดด้วยโพรบแบบสัมผัส	ช่วงการวัด (X/Y)			248 มม. × 141 มม.
	แรงการวัด			0.015 N ^*5
	หน่วยต่ำสุดในการแสดงผล			0.1 μm
	อัตราการทำซ้ำ	แกน X/Y		±1.4 µm
		ระนาบ X/Y
		แกน Z
	ความแม่นยำ ในการวัด	แกน X/Y (EUX,MPE , EUY,MPE)		±(2.8 + 0.02 L) µm ^*6
		ระนาบ X/Y (EUXY,MPE)		±(3.8 + 0.02 L) µm ^*6
		แกน Z (EUZ,MPE)		±(4.8 + 0.04 L) µm ^*4
อินพุตระยะไกลจากภายนอก				อินพุตแบบไม่มีแรงดันไฟฟ้า (สัมผัสและไม่สัมผัส)
เอาต์พุตภายนอก	OK/NG/FAIL/MEAS.			เอาต์พุต PhotoMOS อัตราการโหลด: 24 VDC, 0.5 A ความต้านทานขณะ ON: 50 mΩ หรือต่ำกว่า
ระบบไฟส่องสว่าง	แบบโปร่งใส			ไฟ LED สีเขียวโปร่งใสเทเลเซนตริก
	วงแหวน			ไฟ LED สี/ไฟ LED สีขาวแบบหลายมุมสี่ช่อง (ไฟฟ้า) ไฟ LED สีเขียวด้านข้าง (ไฟฟ้า) แบบแหวนคั่น (ทิศทาง) ไฟ LED สีขาวแบบโคแอกเซียลเทเลเซนตริก
การควบคุมแสงภายนอก	การควบคุมความเข้มแสง			การควบคุม PWM, 100 kHz
	แรงดันไฟฟ้าเอาต์พุต			12 VDC
	กระแสเอาต์พุต			1.6 A (สูงสุด)
แท่นวาง XY	ระยะเลื่อน			300 มม. × 150 มม. (แบบมอเตอร์)
	รับน้ำหนักได้			7 กก.
แท่นวาง Z	ระยะเลื่อน			75 มม. (ไฟฟ้า)
แหล่งจ่ายไฟ	แรงดันไฟ			100 ถึง 240 VAC ±10% (50/60 Hz)
	การสิ้นเปลืองกำลังไฟ			150 VA หรือน้อยกว่า
ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม	อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน			+10 ถึง 35°C ^*7
	ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน			20 ถึง 80% RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)
	ประเภทแรงดัน ไฟฟ้าเกิน			ll
	ระดับมลภาวะ			2
น้ำหนัก				ประมาณ 34 กก.
^1 ในช่วง 20 มม. × 20 มม. ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23°C ±1°C ที่ตำแหน่งโฟกัสของจุดโฟกัส ^2 ในช่วง 5 มม. × 5 มม. ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23°C ±1°C ที่ตำแหน่งโฟกัสของจุดโฟกัส ^3 ตาม ISO 10360-7 ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23°C ±1°C ที่ตำแหน่งโฟกัสของจุดโฟกัสและที่น้ำหนักบนแท่นวาง 2 กก. หรือน้อยกว่า (L = ขนาดการเคลื่อนที่ของแท่นวาง X/Y มีหน่วยเป็น มม.) ^4 ตาม ISO 10360-7 สำหรับความสูงจากระนาบถึงจุด ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23°C ±1°C ตั้งค่าการวัดชิ้นงานที่ความสูงระดับสูงสุด 50 มม. หรือน้อยกว่า (L = ขนาดการเคลื่อนที่ของแท่นวาง Z มีหน่วยเป็น มม.) ^5 ค่ามาตรฐาน ^6 ตาม ISO 10360-7 ภายในช่วงอุณหภูมิแวดล้อมขณะทำงานที่ +23°C ±1°C และที่น้ำหนักบนแท่นวาง 2 กก. หรือน้อยกว่า (L = ขนาดการเคลื่อนที่ของแท่นวาง X/Y มีหน่วยเป็น มม.) ^*7 ด้วยความเร็วการเคลื่อนที่ของแท่นวาง XY แบบใช้มอเตอร์ที่ 80 มม./วินาที: +15 ถึง 35°C

เอกสารข้อมูล (PDF) รุ่นอื่นๆ