ข้อมูลจำเพาะ คอนโฟคอลดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์ CL-3000 ซีรีส์

หัวสแกนเนอร์และออปติคัลยูนิต - ชนิด Quad

รุ่น

CL-L007N

CL-L015N

CL-L030N

CL-L070N

CL-L150N

รูป

ชนิด

ออปติคัลยูนิต

ส่วนหัว

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

CL-L150 *1

ระยะอ้างอิง

7 มม.

15 มม.

30 มม.

70 มม.

150 มม.

ช่วงการวัดอ้างอิง

ช่วงการวัด

±1.5 มม.

±1.3 มม.

±3.7 มม.

±10 มม.

±35 มม.

ลิเนียริตี้ (Linearity)

±2.1 µm *2

±0.49 µm *2

±0.94 µm *2

±2.2 µm *2

±5.65 μm *2

ช่วงการวัดความเที่ยงตรงสูง

ช่วงการวัด

±0.5 มม.

±1.0 มม.

±3.0 มม.

±15 มม.

ลิเนียริตี้ (Linearity)

±0.91 µm *2

±0.41 µm *2

±0.72 µm *2

±2.0 µm *2

±4.65 μm *2

ความละเอียด

0.25 µm *3

เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสง

ø750 µm

ø300 µm

ø500 µm

ø600 µm

ø1000 µm

คลาสของเลเซอร์

ออปติคัลยูนิต

คลาส 1

รอบสัญญาณตัวอย่าง

100/200/500/1000 µs (ปรับได้ 4 ระดับ)

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

ระดับการป้องกัน

ส่วนหัว

IP67 (IEC60529)

แสงรอบข้าง

ความสว่างบนพื้นผิวของชิ้นงาน: 30000 ลักซ์ (หลอดไส้)

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

0 ถึง 50°C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

85% RH หรือน้อยกว่า (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

ความทนทานต่อการสั่นสะเทือน

ส่วนหัว

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 1.5 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

ออปติคัลยูนิต

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 0.3 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

การทนต่อแรงกระแทก

15 G, 6 ms

คุณสมบัติด้านอุณหภูมิ

ส่วนหัว

0.005% ของ F.S./°C

ออปติคัลยูนิต

0.015% ของ F.S./°C

วัสดุ

ส่วนหัว

SUS

ด้านหน้า: SUS, ด้านหลัง: อะลูมิเนียม

ออปติคัลยูนิต

Polycarbonate

น้ำหนัก

ส่วนหัว

ประมาณ 140 กรัม

ประมาณ 180 กรัม

ประมาณ 200 กรัม

ประมาณ 280 กรัม

ประมาณ 380 กรัม

ออปติคัลยูนิต

ประมาณ 1600 กรัม

*1 ต้องใช้หัวสแกนเนอร์และออปติคัลยูนิตตามรุ่นที่ตรงกัน ห้ามใช้งานข้ามรุ่น
*2 ค่าที่วัดได้ในโหมดการเปลี่ยนตำแหน่งกับชิ้นงานอ้างอิงของ KEYENCE (พื้นผิวที่มันเงา)
*3 ค่าที่วัดได้โดยใช้รอบเฉลี่ย 16,384 รอบกับชิ้นงานอ้างอิงของ KEYENCE (พื้นผิวที่มันเงา)

ด้านบนสุดของหน้า

หัวสแกนเนอร์และออปติคัลยูนิต - ชนิดเฉพาะจุด

รุ่น

CL-P007N

CL-P015N

CL-P030N

CL-P070N

CL-P150N

รูป

ชนิด

ออปติคัลยูนิต

ส่วนหัว

CL-P007 *1

CL-P015 *1

CL-P030 *1

CL-P070 *1

CL-P150 *1

ระยะอ้างอิง

7 มม.

15 มม.

30 มม.

70 มม.

150 มม.

ช่วงการวัดอ้างอิง

ช่วงการวัด

±1.5 มม.

±1.3 มม.

±3.7 มม.

±10 มม.

±35 มม.

ลิเนียริตี้ (Linearity)

±0.96 μm *2

±0.49 μm *2

±0.94 μm *2

±2.2 μm *2

±5.65 μm *2

ช่วงการวัดความเที่ยงตรงสูง

ช่วงการวัด

±0.5 มม.

±1.0 มม.

±3.0 มม.

±15 มม.

ลิเนียริตี้ (Linearity)

±0.55 μm *2

±0.41 μm *2

±0.72 μm *2

±2.0 μm *2

±4.65 μm *2

ความละเอียด

0.25 μm

เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสง

ø50 µm

ø25 µm

ø38 µm

ø50 µm

ø75 µm

คลาสของเลเซอร์

ออปติคัลยูนิต

คลาส 1

รอบสัญญาณตัวอย่าง

100/200/500/1000 µs (ปรับได้ 4 ระดับ)

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

ระดับการป้องกัน

ส่วนหัว

IP67 (IEC60529)

แสงรอบข้าง

ความสว่างบนพื้นผิวของชิ้นงาน: 30000 ลักซ์ (หลอดไส้)

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

0 ถึง 50°C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

85% RH หรือน้อยกว่า (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

ความทนทานต่อการสั่นสะเทือน

ส่วนหัว

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 1.5 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

ออปติคัลยูนิต

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 0.3 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

การทนต่อแรงกระแทก

15 G, 6 ms

คุณสมบัติด้านอุณหภูมิ

ส่วนหัว

0.005% ของ F.S./°C

ออปติคัลยูนิต

0.015% ของ F.S./°C

วัสดุ

ส่วนหัว

SUS

ด้านหน้า: SUS, ด้านหลัง: อะลูมิเนียม

ออปติคัลยูนิต

Polycarbonate

น้ำหนัก

ส่วนหัว

ประมาณ 140 กรัม

ประมาณ 180 กรัม

ประมาณ 200 กรัม

ประมาณ 280 กรัม

ประมาณ 380 กรัม

ออปติคัลยูนิต

ประมาณ 1600 กรัม

*1 ต้องใช้หัวสแกนเนอร์และออปติคัลยูนิตตามรุ่นที่ตรงกัน ห้ามใช้งานข้ามรุ่น
*2 ค่าที่วัดได้ในโหมดการเปลี่ยนตำแหน่งกับชิ้นงานอ้างอิงของ KEYENCE (พื้นผิวที่มันเงา)

ด้านบนสุดของหน้า

รุ่น

CL-S015N

CL-V020N

CL-V050N

CL-PT010N

รูป

ชนิด

ออปติคัลยูนิต

ส่วนหัว

CL-S015 *1

CL-V020 *1

CL-V050 *1

CL-PT010 *1

ระยะอ้างอิง

15 มม.

20 มม.

50 มม.

10 มม.

ช่วงการวัดอ้างอิง

ช่วงการวัด

±1.0 มม.

±1.3 มม.

±4 มม.

±0.3 มม.

ลิเนียริตี้ (Linearity)

±0.35 μm *2

±0.45 μm *2

±1.4 μm *2

±0.22 μm *2

ช่วงการวัดความเที่ยงตรงสูง

ช่วงการวัด

-0.2 มม./-1.0 มม.

±0.5 มม.

±1.6 มม.

±0.15 มม.

ลิเนียริตี้ (Linearity)

±0.25 μm *2

±0.38 μm *2

±1.3 μm *2

±0.2 μm *2

ความละเอียด

0.25 µm *3

เส้นผ่านศูนย์กลางลำแสง

ø10 µm

ø20 µm

ø40 µm

ø3.5 µm

คลาสของเลเซอร์

ออปติคัลยูนิต

คลาส 1

รอบสัญญาณตัวอย่าง

100/200/500/1000 µs (ปรับได้ 4 ระดับ)

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

ระดับการป้องกัน

ส่วนหัว

IP50

โครงสร้างแบบไล่ก๊าซระดับ IP40 สำหรับสภาพแวดล้อมสุญญากาศ *5

IP64 (IEC60529)

แสงรอบข้าง

ความสว่างบนพื้นผิวของชิ้นงาน: 30000 ลักซ์ (หลอดไส้)

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

ส่วนหัว

-20 ถึง 70°C

-20 ถึง 200°C

0 ถึง 50°C

ออปติคอลยูนิต

0 ถึง 50°C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

85% RH หรือน้อยกว่า (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

ความทนทานต่อการสั่นสะเทือน

ส่วนหัว

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 1.5 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 0.45 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

ออปติคัลยูนิต

10 ถึง 57 Hz; แอมพลิจูด 2 เท่า 0.3 มม.; 2 ชั่วโมงในแต่ละทิศทางตามแกน X, Y และ Z

การทนต่อแรงกระแทก

15 G, 6 ms

สุญญากาศ

สภาพแวดล้อมสุญญากาศ

สภาพแวดล้อมสุญญากาศสูงพิเศษ *6

ไม่มี

คุณสมบัติด้านอุณหภูมิ

ส่วนหัว

0.005% ของ F.S./°C *4

0.013% ของ F.S./°C *4

0.015% ของ F.S./°C *4

0.1% ของ F.S./°C *4

ออปติคัลยูนิต

0.015% ของ F.S./°C

วัสดุ

ส่วนหัว

SUS303/304

SUS304

ด้านหน้า: SUS, ด้านหลัง: อะลูมิเนียม

ออปติคัลยูนิต

Polycarbonate

น้ำหนัก

ส่วนหัว

ประมาณ 350 กรัม

ประมาณ 100 กรัม

ประมาณ 1100 กรัม

ออปติคัลยูนิต

ประมาณ 1600 กรัม

*1 ต้องใช้หัวสแกนเนอร์และออปติคัลยูนิตตามรุ่นที่ตรงกัน ห้ามใช้งานข้ามรุ่น
*2 ค่าที่วัดได้ในโหมดการเปลี่ยนตำแหน่งกับชิ้นงานอ้างอิงของ KEYENCE (พื้นผิวที่มันเงา)
*3 ค่าที่วัดได้โดยใช้รอบเฉลี่ย 16,384 รอบกับชิ้นงานอ้างอิงของ KEYENCE (พื้นผิวที่มันเงา)
*4 ค่าของตัวเลขนี้ขึ้นอยู่กับวัสดุของตัวจับยืด SUS303 (หรือ SUS304) ระหว่างหัวเซนเซอร์กับตัวจับยึด
*5 ระดับการป้องกันเทียบเท่ากับ IP50 เมื่อติดสติ๊กเกอร์ที่ให้มา
*6 ดำเนินการรับรองการทำงานในสภาพแวดล้อม 10^-6 Pa

ด้านบนสุดของหน้า