ระบบการวัดแกน XY VH-M100E

รุ่น

VH-M100E

โหลดที่รับได้

3 kg

ระยะห่างจากแท่นวาง

100 มม. ในทิศทาง X และ Y ตามลำดับ

ความละเอียดในการแสดงผล

0.1 µm

ความแม่นยำในการเคลื่อนที่

4 + 0.02L (µm)^*1

อัตรา

แรงดันแหล่งจ่ายไฟ

100 ถึง 240 VAC, 50/60 Hz

การสิ้นเปลืองกำลังไฟ

50 VA

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+5 ถึง +40 °C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

35 ถึง 80 % RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

น้ำหนัก

18 กก.