ระบบการตรวจสอบทุกมุมมองด้วยแท่นวาง XYZ แบบมอเตอร์ความแม่นยำสูง VHX-S650E

รุ่น

VHX-S650E

แท่นวาง XYθ

แท่นวาง XY: แบบมอเตอร์/ปรับด้วยตนเอง

แบบมอเตอร์

ระยะการเคลื่อนที่ของแท่นวาง XY

±20 มม.

มุมการหมุน θ

±90°

ขนาดแท่นวาง XYθ

พื้นผิวด้านบน: 171 × 168 มม. (จานกลาง: ø100)

แสงที่ส่องผ่าน

มี

แท่น Z

แท่น Z: แบบมอเตอร์/ปรับด้วยตนเอง

แบบมอเตอร์

มอเตอร์แท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

สเต็ปปิ้งมอเตอร์ 5 เฟส

ความเร็วการเคลื่อนที่ของแท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

17 มม./วินาที (สูงสุด)

ระยะการเคลื่อนที่ของแท่นวางแกน Z

49 มม.

โหลดที่รับได้

5 กก.

แท่นวาง XYθ

มอเตอร์แท่นวางแกน XY แบบมอเตอร์

สเต็ปปิ้งมอเตอร์ 2 เฟส

ความละเอียดแท่นวางแกน XY แบบมอเตอร์

1 µm (ปกติ)

ความเร็วการเคลื่อนที่ของแท่นวาง XY แบบมอเตอร์

10 มม./วินาที (สูงสุด)

แท่น Z

ความละเอียดแท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

0.1 µm (ปกติ)

แหล่งจ่ายไฟ

แรงดันแหล่งจ่ายไฟ

100 ถึง 240 VAC, 50/60 Hz

การสิ้นเปลืองกำลังไฟ

60 VA

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+5 ถึง 40 °C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

35 ถึง 80 % RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

น้ำหนัก

ประมาณ 18 กก.