ระบบการตรวจสอบ ทุกมุมมอง (แท่นวางแกน XY แบบมอเตอร์, แกน Z โฟกัสด้วยมอเตอร์) VHX-S750E

รุ่น

VHX-S750E

แท่นวาง XYθ

แท่นวาง XY: แบบมอเตอร์/ปรับเอง

แบบมอเตอร์

มอเตอร์แท่นวางแกน XY แบบมอเตอร์

สเต็ปปิ้งมอเตอร์ 2 เฟส

ความละเอียดแท่นวางแกน XY แบบมอเตอร์

1 μm (ปกติ)

ความเร็วการเคลื่อนที่ของแท่นวาง XY แบบมอเตอร์

10 มม./วินาที (สูงสุด)

ระยะการเคลื่อนที่ของแท่นวาง XY

±20 มม.

θ องศาการหมุน

± 90°

ขนาดแท่นวาง Xyθ

พื้นผิวด้านบน: 171 มม.× 168 มม. (จานกลาง: ø100)

แสงที่ส่องผ่าน

20 เท่าขึ้นไป

โฟกัส แกน Z

แท่น Z: แบบมอเตอร์/ปรับเอง

แบบมอเตอร์

มอเตอร์แท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

สเต็ปปิ้งมอเตอร์ 5 เฟส

ความละเอียดแท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

0.1 μm (ปกติ)

ความเร็วการเคลื่อนที่ของแท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

17 มม./วินาที (สูงสุด)

ระยะการเคลื่อนที่ของแท่นวาง Z

49 มม.

แท่นวาง แกน Z

แท่นวาง Z: แบบมอเตอร์/ปรับเอง

แบบมอเตอร์

มอเตอร์แท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

สเต็ปปิ้งมอเตอร์ 2 เฟส

ความละเอียดแท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

1 μm (ปกติ)

ความเร็วการเคลื่อนที่ของแท่นวางแกน Z แบบมอเตอร์

10 มม./วินาที (สูงสุด)

ระยะการเคลื่อนที่ของแท่นวาง Z

50 มม.

กล้องด้านข้าง

มี, VGA

โหลดที่รับได้

5 กก.

อัตรา

แรงดันของแหล่งจ่ายไฟ

100 ถึง 240 VAC ±10%, 50/60 Hz

การสิ้นเปลืองกำลังไฟ

130 VA

ความทนทานต่อสภาพแวดล้อม

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน

+5 ถึง 40°C

ความชื้นแวดล้อมในการทำงาน

20 ถึง 80% RH (ไม่กลั่นตัวเป็นหยดน้ำ)

น้ำหนัก

23.8 กก.