การจัดตำแหน่งแผ่นเวเฟอร์

ระบบทั่วไปจะต้องบันทึกภาพหลายครั้งแล้วนำมาต่อกันเพื่อให้ได้ภาพความละเอียดสูง แต่ตอนนี้สามารถบันทึกภาพมุมกว้างครอบคลุมทั้งพื้นที่ได้ในครั้งเดียว (Wide-area imaging) จึงช่วยประหยัดเวลาไปได้มาก