การวัดตำแหน่ง/การสั่นสะเทือนของมือหุ่นยนต์

ในกระบวนการลำเลียงเวเฟอร์ สิ่งสำคัญคือต้องเริ่มต้นกระบวนการถัดไปหลังจากที่ยังมีการสั่นสะเทือนหลงเหลืออยู่ซึ่งจะเกิดขึ้นเมื่อหุ่นยนต์หยุดทำงาน การใช้เลเซอร์ดิสเพลสเมนต์เซนเซอร์เพื่อตรวจสอบว่าการสั่นสะเทือนที่เหลืออยู่ได้หยุดลงแล้วหรือไม่จะสามารถป้องกันการทำงานผิดพลาดของอุปกรณ์และการทำงานที่บกพร่องในกระบวนการถัดไปได้